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扫描电子显微镜(SEM)是用于微观研究固体物质表面形貌结构表征的现代科学必备仪器。而能谱仪(Energy Dispersive X-ray Spectrum缩写EDS，EDX，EDAX等)可以配合扫描电子显微镜使用，用于分析固体样本微区成份元素种类与含量，能同时进行样品表层的微区点，线，面元素的定性及半定量分析。能谱是分析电子显微方法中最基本，最可靠，最重要的分析方法，广泛应用于生物学、医学、材料学、冶金、化工，航空航天，无损分析，失效分析等领域。
二、 能谱仪参数:
仪器厂家型号：牛津仪器，AZtecLive Ultim Max 100
元素分析范围：Be4-Cf98
检出极限：0.1-0.5% weight
三、 实验周期：1周工作日左右。
四、 样本准备：
含水生物样本，蛋白类，易降解生物膜样本等用电镜固定液固定,保护好并标记需要扫描和能谱分析的面，4°保存运输。干燥生物样品及其它干燥固体样品用自封袋或EP管密封，减少与空气接触，常温保存运输。
五、 样本要求及注意事项：
1、具有磁性或者易被磁化的铁，钴，镍等样本不能上机检测。
2、样品要求为不易潮解且无挥发性的固态样品，样品大小不超过长2cm×宽2cm×厚0.5cm。
3、可以检测分析20nm以上的颗粒样品。
4、点扫描分析灵敏度最高，面扫描分析灵敏度最低,但可直观显示元素分布。要根据试样特点及分析目的合理选择点、线、面分析方法。
六、 服务费用
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样本类型 |
实验内容 |
价格（元/样） |
备注 |
|
干燥样品（有机无机材料，粉末样品，干燥的生物样品） |
喷金或喷碳，SEM成像，能谱检测 |
SEM325+EDS130 |
1、SEM提供10张扫描电镜照片。 2、能谱检测100元为点扫描+线扫描，或者单独面扫描mapping。 3、点扫描+线扫描报告包含2张扫描电镜图，每张图各3个点扫描，一条线扫描谱图和元素分析数据。 4、面扫描报告包含1张扫描电镜图，一个扫描元素分布图，谱图和元素分析数据 |
|
含水样品（生物样品） |
脱水，临界点干燥，喷金，SEM成像，能谱检测 |
SEM455+EDS130 |
七、分析内容及结果展示
1、点扫描
将电子束固定在试样感兴趣的点（可以是任意形状）上，进行定性或定量分析。可对材料晶界、夹杂、析出相、沉淀物、及材料的组成（扫描多个较大区域）等分析。
|
谱图标签 |
谱图 4 |
谱图 5 |
谱图 6 |
|
C |
42.89 |
48.47 |
50.82 |
|
N |
11.92 |
13.48 |
13.18 |
|
O |
33.93 |
29.67 |
21.65 |
|
Na |
5.40 |
3.92 |
2.39 |
|
Mg |
1.67 |
1.12 |
0.83 |
|
S |
0.22 |
0.19 |
0.32 |
|
K |
0.22 |
0.13 |
0.15 |
|
Ca |
3.75 |
3.03 |
2.40 |
|
W |
|
|
8.26 |
|
总量 |
100.00 |
100.00 |
100.00 |
2、线扫描
电子束沿一条线扫描时，能获得元素含量变化的线分布曲线。如果和试样形貌像对照分析,能直观地获得元素在不同相或区域内的分布。沿感兴趣的线逐点测量成分，也可以获得该线的成分变化曲线。
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分布图总数谱图 |
|
|
|
元素 |
Wt% |
Wt% Sigma |
|
C |
46.07 |
0.54 |
|
N |
12.53 |
0.86 |
|
O |
31.98 |
0.41 |
|
Na |
4.45 |
0.07 |
|
Mg |
1.32 |
0.03 |
|
S |
0.20 |
0.02 |
|
K |
0.17 |
0.02 |
|
Ca |
3.28 |
0.05 |
|
总量： |
100.00 |
|
3、面扫描
电子束在任意图形面积范围内进行扫描，能获得每种元素含量在这个图形范围内的变化情况。元素在试样表面的分布能在屏幕上以不同的亮度显示出来，亮度越亮，说明元素含量越高。
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分布图总数谱图 |
||
|
元素 |
Wt% |
Wt% Sigma |
|
C |
46.07 |
0.54 |
|
N |
12.53 |
0.86 |
|
O |
31.98 |
0.41 |
|
Na |
4.45 |
0.07 |
|
Mg |
1.32 |
0.03 |
|
S |
0.20 |
0.02 |
|
K |
0.17 |
0.02 |
|
Ca |
3.28 |
0.05 |
|
总量： |
100.00 |
|
