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扫描电镜(SEM)利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。扫描电子显微镜对二次电子、背散射电子的采集，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像，可得到有关物质微观形貌的信息。扫描电镜有较高的放大倍数，20-20万倍之间连续可调;有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构;试样制备简单，不含水的样本可以不用固定。扫描电镜HITACHI Regulus 8100。
扫描电镜HITACHI Regulus 8100主要技术指标：
二次电子分辨率：1.0nm(加速电压15kV、WD=4mm) 1.3nm(加速电压1kV、WD=1.5mm)
放大倍数：1000～1000,000
加速电压：0.1-30KV
加拍：150元 10张照片
